Фоторезистивная плёнка для микрофабрикации является ключевым компонентом в области передовых производственных и технологических процессов. Он выступает в качестве важнейшего материала при разработке микроструктур и устройств в самых различных отраслях, включая электронику, оптику и машиностроение. Основная роль фоторезистных пленок заключается в их способности переносить сложные рисунки на подложки, процесс